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クリーンルームとは?

クリーンルームとは?

1、定義


クリーンルーム(clean room , CR)とは、空気清浄度が確保された部屋のことである。

JIS Z 8122では、コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、
空気中における浮遊微小粒子、
浮遊微生物が限定されて清浄度レベル以下に管理され、
また、その空間に供給される材料、薬品、
水などについても要求される清浄度が保持され、
必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件
についても管理が行われている
空間と定義されています。


 

2、クリーンルームの分類

インダストリアルクリーンルーム      (ICR)

半導体を中心とする電子工業用途でのクリーンルーム、主に微粒子が対象。

バイオロジカルクリーンルーム      (BCR) 主としてバイオテクノロジーの分野で用いられるクリーンルーム、
主に空気中の浮遊微生物が対象。

 

3、クリーンルームの構造

 

クリーンルームは、クリーンルームパーティションで壁・天井と床材を構成して、
HEPAフィルター(超高性能フィルター)
を通過した清浄な空気を絶えず供給して
部屋内を循環させ、清浄な空間を作り出します。

 

 

4、クリーンルームの規格

 

どの程度の塵埃を許容するかの指標として、1立方フィートあたりの空気に、

粒径0.5μm(マイクロメートル)以上の塵埃(粒子個数)がいくつあるかの数字で表します。

   





弊社では米国連邦規格であるFED-STD-209Dを使用しています。

  



・米国連邦規格FED-STD-209D

  1立方フィート(1ft3)=28.3Lの空気中に含まれる0.5μm以上の大きさの粒子の数の指数。

  クラス1〜100000

  

  

 



・日本工業規格JIS B 9920

 

  1㎥当たりの0.1μm以上の粒子の最大許容粒子数を10の累乗で表示したときの指数。

  クラス1〜9

   

  USA FED−STD−209規格表